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半导体净化车间

半导体净化车间

产品详情

       普通的机械加工是不需要洁净室的,只要原因是加工分辨率在数十微米以上,远比日常环境的微尘颗粒大。但是要进入半导体组件或微细加工的地方,空间单位都是以微米计算,因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,就有可能影响到其上精密导线布局的样式,以至于电性短路或断路的严重后果。因此,必需要为半导体车间建造无尘车间。

        半导体净化车间施工要求:

        1、检查风机 是否能够正常运行,噪音大小检测,电流 风量的检测;

        2、测量风淋室的风速能否达到国准。

        3、 检测 出风口密封是否合格,如果有缝隙,粒子数量可能会超标。

        4、检查夹层的卫生清理、电线、管道保温、管道密闭性等。

        5、用专业仪器检测是否能够达到规定的净化等级。

        6、测量室内温度湿度是否符合设计要求。

        7、检查各个房间的压差、和外界压差是否达到设计要求。

        8、使用沉降法检测空气中微生物的数量是否能够达到无菌状态。

        9、彩板安装是否牢固、拼接是否严密,彩板与地面处理是否合格。

 

 


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